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一种无盖板的碳纳米管器件结构及其制作方法

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
碳纳米管作为新兴的功能纳米材料，其制成的探测器具有体积小、功耗低、灵敏度高等优点。在红外探测方面，2001年，徐建民等人在多孔氧化铝模板上生长垂直于衬底的多壁碳纳米管阵列，实现了对红外光的探测，但是器件制作工艺复杂，可控性差。2006年，MikhailE.Itkis等人用单壁碳纳米管薄膜作为敏感元，实现了红外探测，但器件体积较大，不易大批量制作，限制了应用范围。2007年，Jiangbo ...
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